概要
本施設内の装置は共用です。皆様のご利用をお待ちしております。是非お気軽にお問い合わせください。
経緯と目的
東北大学大学院工学研究科附属マイクロ・ナノマシニング研究教育センターは、 平成7年度政府補正予算による「大学院を中心とした独創的研究開発推進経費」 で発足した施設です。 東北大学では「センサ・マイクロマシンの研究開発 (マイクロ・ナノマシニング)」を 研究・教育テーマに掲げ、全学的な協力体制でこの計画を推進しております。 目的は次の3点です。
1) 新産業創出に結びつく実践的で独創的な研究開発プログラムの推進
2) 高度の専門的職業能力を持ちベンチャー精神に富んだ創造的人材の育成
3) 大学院専用の教育研究施設と大型特別設備の整備
施設の役割
「マイクロマシニング棟」は600平方メートルのクリーンルームを持ち、 2インチのシリコンウェハを処理して本格的に集積回路を実現できる環境です。
「ナノマシニング棟」は150平方メートルのクリーンルームで、 ナノマシニング関連の研究を中心に利用できます。
大学院生を中心とした若手研究者の自由な発想や創造性の養成、 研究科・専攻の枠を越えた学際的な協同による幅広い資質を持つ人材の育成、 国内企業や他大学等の研究者を受け入れた共同研究、 特別招聘外国人研究員のような国外からの研究者の受入あるいは 若手研究者による海外調査のような国際交流などを積極的に実施し、その成果を世界中に発信します。
目標
ハイテク技術は大規模に集積した総合技術であるので、さまざまな設備や知識が必要です。研究室がそれぞれ独自に高価な設備をかかえて研究すると無駄が多くなるので共同で利用する工夫が必要です。
「マイクロマシニング棟」1階のクリーンルームでは、維持のし易さを優先して小さな2インチウェハを処理するようになっています。本格的な集積回路を大学内で試作できる施設として整備しておりますので、大いに利用してください。2階に分析や光学実験、測定評価などの実験室があります。3階の一部は「センサ・マイクロマシン博物館」として、いろいろな所で作られたデバイスを集め展示しています。
「ナノマシニング棟」では、フォトマスク製造関係の他、レーザ描画装置や長焦点の投影露光装置が設置されています。また走査型プローブ顕微鏡関係やナノマシニング関係の研究に利用しやすい環境になっています。
ページ上へ